半导体设备制造商ASML证实了中国媒体的报道,即该公司已获得荷兰政府的许可,在今年年底前向中国客户出口其包括DUV曝光机等部分先进工具。
ASML是欧洲估值最高的技术公司,在曝光机市场占据主导地位,该设备使用微小的光束帮助创建芯片电路。根据6月份与美国完成的一项协议,该公司必须获得许可,才能出口一些最尖端的技术。而荷兰对中国输出芯片制造设备的禁令,将从9月1日生效。
不过,ASML证实,公司年底前将仍会持续出货用于半导体成熟制程生产的深紫外光(DUV)曝光机设备给中国客户。该公司的一位女发言人说,这些产品虽然从9月1日起就受到限制,但在2023年的剩余时间里,ASML将能继续出货其NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品。换言之,中国的芯片厂还有4个月时间可以从ASML进口设备。
使用深紫外光谱光波的曝光机(或称"DUV"设备)是ASML的第二级产品线。其最先进的“极紫外”(EUV)设备则从未出售给中国客户。
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